说明：
Formtracer Extreme (超级表面粗糙度/ 轮廓测量装置)CS-5000CNC / CS-H5000CNC
技术参数:
X1 轴
测量范围: 200mm
分辨率: 0.00625μm
检测方法: 激光全息光栅尺
驱动速度: 最大40mm/s (CNC 模式)0 - 40mm/s (操纵杆控制模式)
测量速度: 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度)0.02 - 2mm/s (形状／轮廓)
移动方向: 向前／向后
直线度: (0.1+0.0015L)μm、使用标准测针(0.2+0.0015L)μm、使用二倍长型测针
直线度: (0.05+0.0003L)μm、使用标准测针(0.2+0.0015L)μm、使用二倍长型测针
指示精度 (20°C): ±(0.3+0.002L)μm
指示精度 (20°C): ±(0.16+0.001L)μm
L 为驱动长度(mm)
Z1 轴
测量范围: 12mm (标准测针)24mm (二倍长型测针)
分辨率: 0.001μm (标准测针)0.002μm (二倍长型测针)
测针上／下运作: 弧形运动
检测方法: 激光全息光栅尺
指示精度 (20°C): ±(0.3+I0.02HI)μm
指示精度 (20°C): ±(0.07+I0.02HI)μm
H 为测量高度(mm)
测力: 4mN (标准测针)0.75mN (二倍长型测针)
跟踪角度: 向上60° 、 向下60°
(取决于表面粗糙度)
测针针尖: 半径: 5μm, 角度： 40°、钻石
(球型测针) (半径: 0.25mm, 蓝宝石)
测针方向: 向下
Z2 轴(立柱)
测量范围: 300mm (500mm：高立柱型)
分辨率: 0.05μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 最大200mm/s (CNC 模式)0 - 50mm/s (操纵杆控制模式)
基座尺寸(W x D): 750 x 600mm
基座材料: 花岗岩
尺寸 (W x D x H): 800 x 620 x 1000mm(800 x 620 x 1200mm：高立柱型)
重量: 240kg (250kg：高立柱型)
*CS-H5000CNC
性能参数
型号CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC
货号* (100V - 120V) 525-721-1 525-722-1 525-723-1 525-724-1
货号* (200V - 240V) 525-721-2 525-722-2 525-723-2 525-724-2
X1 轴测量范围200mm 200mm 200mm 200mm
Z2 轴垂直行程300mm 300mm 300mm 300mm
Y 轴工作台装置— — 已安装已安装
a 轴装置— 已安装— 已安装
型号CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC
货号* (100V - 120V) 525-741-1 525-742-1 525-743-1 525-744-1
货号* (200V - 240V) 525-741-2 525-742-2 525-743-2 525-744-2
X1 轴测量范围200mm 200mm 200mm 200mm
Z2 轴垂直行程500mm 500mm 500mm 500mm
Y 轴工作台装置— — 已安装已安装
a 轴装置— 已安装— 已安装
型号CS-H5000CNC CS-H5000CNC
货号* (100V - 120V) 525-761-1 525-763-1
货号* (200V - 240V) 525-761-2 525-763-2
X1 轴测量范围200mm 200mm
Z2 轴垂直行程300mm 300mm
Y 轴工作台装置— 已安装
a 轴装置— —
