说明：
Formtracer Extreme (超级表面粗糙度/ 轮廓测量装置)SV-C3000CNC / SV-C4000CNC
基本技术参数:
基座尺寸 (W x H): 750 x 600mm
基座材料: 花岗岩
重量: 240kg, 250kg (高立柱型)
电源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz
能耗: 500W (主机)
轮廓测量技术参数:
X1 轴
测量范围: 200mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 200mm/s (最大CNC)
0 - 60mm/s (操纵杆)
测量速度: 0.02 - 2mm/s
移动方向: 向前／向后
直线度: 2μm/200mm
* 以X 轴为水平方向上
指示精度: ±(1+0.02L)μm,
(20° C 时) * L 为驱动长度(mm)
a 轴
倾角: -45° 至 +10°
分辨率: 0.000225°
旋转速度: 1rpm
Z2 轴 (立柱)
垂直移动: 300mm 或 500mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 200mm/s (最大CNC)
0 - 60mm/s (操纵杆)
Z1 轴 (检测器)
测量范围: ±25mm
分辨率: 0.2μm (SV-C3100CNC),0.05μm (SV-C4100CNC)
检测方法: 线性编码器 (SV-C3100CNC),
激光全息测微计 (SV-C4100CNC)
直线位移: ± (3+I2HI/25)μm (SV-C3100CNC)
精度 (20° C 时) ± (0.8+I0.5HI/25)μm (SV-C4100CNC)
*H 为基于水平位置的测量高度 (mm)
测针上／下运作: 弧形移动
测针方向: 向下
测力: 30mN
跟踪角度: 向上: 70° , 向下: 70°
(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针)
测针针尖 尖端半径: 25μm、硬质合金尖端
